白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其测量精度要求。
白光干涉仪测量原理：
白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。
白光干涉仪的测量应用：
以测量单刻线台阶为倒，在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。
在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。
白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

在过去，中国市场的激光干涉仪都是国外的品牌，特别是某英国品牌占据了市场份额的大头，因此价格十分昂贵，很多企业望而却步。

中图仪器一直以实现高精密仪器自主化为己任，看到这种局面，决心研制国产的商用激光干涉仪，凭借多年来在光学测量领域的积累，终于在2014年年底推出了SJ6000激光干涉仪。

SJ6000激光干涉仪一经推出市场，我们的老客户就纷纷要求试用，经过大量客户的“挑刺”，SJ6000激光干涉仪性能越发完善和稳定，试用后，客户纷纷下单，国产激光干涉仪的商业化之路就此开启。

随后，国内各大小机床厂、自动化设备厂、大专院校等单位听闻中图仪器研制出了激光干涉仪，纷纷来电来函咨询以及到展位上仔细观摩，同时要求我们与进口品牌同时测量，我们当然毫不怯场，在几十上百次的对比测量中，SJ6000激光干涉仪毫不孙色，客户交口称赞。

到现在，很多客户选择激光干涉仪，首选想到的就是中图仪器，谈及此事，客户们都说，既然国产激光干涉仪各方面都不输进口产品，价格又相对实惠，服务也更好，为何不选择国产的激光干涉仪了！

客户对我们的认可是我们不断前行的动力，而我们也不负众望，研制出了光学3D表面轮廓仪（白光干涉仪）、闪测仪等一批具有国际先进水平的测量仪器，服务于中国制造业，打破了一个个国际巨头的垄断。