青岛泰斯迈仪器设备有限公司
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| 所属行业： | 机械设备 |
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山东
青岛
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发布日期： | 2021年9月27日 |
| 供求信息分类： |
电子/仪表 半导体 |
| 供求信息描述： | 产品特性：
• 27.12MHz高密度等离子制程
• SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可对应SiO2膜
• 以CF4+O2 Plasma实现腔体清洁功能
• 可对应有机EL（OLED）的低温成膜用heater
• 使用Tray可搬送多种基板尺寸
• 通过使用真空Box实现C系列的间接连续制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200） 产品应用：
• 功率器件
• LED、LD、高速device等化合物相关 • 有机EL（OLED）开发 • 太阳电池开发 |
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